二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9012938 待售

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ULVAC Ceraus ZX-1000
已售出
製造商
ULVAC
模型
Ceraus ZX-1000
ID: 9012938
Sputtering system.
ULVAC Ceraus ZX-1000溅射设备设计用于各种应用的薄膜沉积。利用溅射的过程,将一种惰性气体,例如氙气进行电离,让粒子从目标材料中喷射出来,收集在基板上。溅射系统可用于沉积金属、半导体、绝缘体和透明导体等不同材料。ULVAC CERAUS ZX 1000溅射单元由一个沉积室、两个溅射枪、两个磁控管、一个沉积室排气和真空相关部件组成。两支溅射炮在沉积室的相对两侧分离,具有三个170mm的可偏目标、一个圆柱形磁滤镜和一个石英窗来查看过程。这允许不同材料的双重沉积,磁滤器从沉积中消除任何微米粒子。控制两个磁控管调节溅射过程的功率,沉积室排气能够在短时间内排出腔室。Ceraus ZX-1000溅射机使用直流磁控管电源使氙气电离,并使用基板加热器进行预热处理。基板加热器还用于维持较高的基板温度和改善的膜性能。该工具的控制软件允许用户根据需要监视和调整流程参数。CERAUS ZX 1000溅射资产提供可靠和均匀的薄膜,具有可重现的特性。该模型非常适合小基板面积大、通量高的溅射基板。MF电源的坚固设计和使用为设备提供了稳定高效的运行。该系统对工艺参数进行了较好的控制,提供了良好的均匀性和较高的薄膜可重复性。ULVAC Ceraus ZX-1000溅射装置适用于研发和生产应用。
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