二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9028395 待售

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ULVAC Ceraus ZX-1000
已售出
製造商
ULVAC
模型
Ceraus ZX-1000
ID: 9028395
Sputtering system.
ULVAC Ceraus ZX-1000是为各种薄膜沉积应用而设计的高通量多用途真空溅射设备。理想沉积氧化物、氮化物、半导体薄膜,如氧化硅、氮化硅、氮化钛、氧化钛。该系统具有4英寸晶圆大容量,最多三个溅射源,以及用于硬质涂层应用的大功率射频盘式溅射枪。该机组还配备了一台10兆瓦的射频发电机,用于高速率沉积。ULVAC CERAUS ZX 1000的核心是它的多功能溅射沉积室。该室采用不锈钢建造,内部容积为50升。它还有一个高真空泵机器和一个带快门室,可以快速交换基板。该室配有磁控管溅射枪和离子辅助沉积的离子源。该工具的高功率射频磁盘溅射枪包含在硬质涂层应用中。其最大功率输出为1.2kW,可提供高达600A的电流。该枪安装在可单独调节的作业臂上,可以精确调整目标的中心坐标。该枪可在低至0.005Pa的压力下操作,并具有0-360°的可调靶角,以满足使用者的具体要求。Ceraus ZX-1000为溅射沉积的所有参数配备了高精度仪器测量资产。该模型采用精密测量晶体,测量功率密度、沉积速度和入射角。数据收集过程由计算机控制,可以精确控制过程参数。设备安装有多用户控制面板,有四种语言选项,允许多个用户同时进行实时监控和数据收集。驱动器系统还配备了16位微处理器,可精确控制沉积速度。该单元还与PC和EPICS等一系列平台兼容,以便轻松集成到现有软件环境中。总而言之,CERAUS ZX 1000是一款出色的溅射机,非常适合从精密薄膜沉积到硬质涂层应用的各种工艺。它提供卓越的性能、卓越的工艺精度和吸引人的性价比。
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