二手 ULVAC MLX-3000N #9053707 待售

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ULVAC MLX-3000N
已售出
製造商
ULVAC
模型
MLX-3000N
ID: 9053707
Sputtering systems.
ULVAC MLX-3000N是为研发应用而设计的溅射设备。该系统允许沉积多种薄膜材料,包括金属、绝缘体和半导体。它采用了ULVAC专有的MGP技术,该技术的特点是三个疏散室----一个目标室、一个反应室和一个涂层室----都连接到一个泵上。这种模块化设计允许广泛的基板尺寸、形状和配置。目标室配备ULVAC专利磁控管溅射源技术。溅射源上的9个大磁体与碱卤化物离子源相结合,使得在几乎无限源寿命的非真空条件下的最大溅射通过。高度均匀的电离等离子体由离子源在靶室内生成。这提高了材料的使用效率,同时允许在整个基板区域内均匀沉积。反应室是一种高压反应室,可用于将胺类、烷烃类或氧类等气体引入溅射过程。它具有先进的光学监测能力,使研究人员能够评估溅射过程中的薄膜特性。最后,涂层室是MLX-3000N单元的输出.在这里,溅射过程产生的金属膜、涂层或其他纳米结构被沉积在基板上。该系统的高材料吞吐量能力,允许大尺寸的基板和高精度的涂层结果。ULVAC MLX-3000N还使用许多传感器实时监测沉积过程条件。这些传感器包括压力表、真空控制器和基板温度监测器。这些组件为科学家和研究人员提供详细的反馈信息,并允许快速的过程优化。MLX-3000N是一种先进的溅射机,旨在满足研究人员和开发人员的需求。它具有高通量、大面积涂层和高精度沉积等多种材料的优点。其模块化设计和先进的传感器使其成为高级应用开发的理想选择。
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