二手 ULVAC MLX-3000N #9236593 待售

ULVAC MLX-3000N是由世界真空技术领导者ULVAC制造的溅射设备。MLX-3000N设计用于将薄膜和涂层沉积在各种基板上,包括电子、光电和半导体。该系统利用高纯度气体的高功率溅射，制造出具有优异电学和光学特性的均匀薄膜。ULVAC MLX-3000N具有强大的溅射电源,可达2500W,以及设计用于高密度Ar/O2和Ar/N2溅射的高压EC电源。该装置在溷合构型中使用多达三个CVD/溅射源和四个离子源，使得多组分薄膜的沉积具有比竞争系统更高的薄膜厚度精度。多源设计还允许更快的过程时间和更大的过程灵活性。机器的自动温度控制、基板分期和现场过程监控确保了大规模生产的可重复结果。MLX-3000N还具有负载锁定技术，以减少基板污染和提高吞吐量。通过使用智能、自适应软件，该工具能够针对不同的材料和工艺参数进行自我优化。ULVAC MLX-3000N还可以很容易地与其他ULVAC技术（如电子束蒸发器和等离子体离子辅助沉积系统）相结合,创建定制的溅射系统以满足您的确切需求。MLX-3000N具有优异的性能和可靠性,非常适合大规模生产。