二手 ULVAC MLX-3000N #9273657 待售

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ULVAC MLX-3000N
已售出
製造商
ULVAC
模型
MLX-3000N
ID: 9273657
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5" (3) Chambers.
ULVAC MLX-3000N是日本着名真空设备制造商ULVAC设计制造的低真空溅射设备。MLX-3000N是材料处理的多功能平台。是一种单室、低真空溅射系统,工作压力在0.1-5.0毫巴之间。它可用于多种应用和过程,如材料的物理沉积、氧化、氮化、退火和多层纳米复合材料膜的沉积。ULVAC MLX-3000N有一个封闭式真空室,配有直驱泵,能够从大气压快速疏散到所需的工作压力。它还配备了高压单元、部分活动SCR和手动夹紧单元,以及残留气体分析机。这样就可以精确控制沉积过程,从而获得一贯的优异效果。MLX-3000N配备了ULVAC独特的手动夹紧工具,允许处理各种不同尺寸、形状和材料的基板。它能够一次处理多达四个基板,允许大量样品通过。ULVAC MLX-3000N配备了防反射涂层(ARC)选项。这有助于防止目标在溅射过程中散热和反射,并有助于确保均匀膜的膜厚度一致。MLX-3000N还配备了ULVAC原位监测功能,可以监测温度、沉积率、厚度等。它还具有先进的闭环反馈控制资产,确保精确稳定的过程控制。总体而言,ULVAC MLX-3000N是材料处理应用的绝佳选择。它的单室设计和广泛的特点允许精确和一致的结果。其手动夹紧模型、原位监控以及先进的闭环反馈控制,使其成为需要高质量结果的客户的理想设备。
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