二手 ULVAC MPS-8000 #9053708 待售

ULVAC MPS-8000是为生产高质量薄膜而设计的最先进的溅射设备。这种机器人溅射系统具有高精度的自动化过程控制，大尺寸的基板和方便的访问。MPS-8000设计用于在基板和柔性圆盘上溅射高质量薄膜的纵向磁性记录层。自动化过程控制单元提供了通量均匀性、粒子加速度、沉积速率等精确且可重复的等离子体参数。ULVAC MPS-8000具有高质量的电源和坚固可靠的组件,可实现不间断溅射和高速处理。集成的控制机器和触摸屏界面使得使用该工具变得容易，即使对于缺乏机器人技术经验的用户也是如此。MPS-8000有一个6轴机械臂，用于处理直径不超过12英寸的大型基材，方便和精确。大型基板可以夹紧到夹具上,以便精确移动和易于操作.这使得各种形状和尺寸的基板被溅射相同的膜质量。此外,资产还具有开放端口访问功能,允许直接访问基板或晶圆支架。这为维修和快速装卸基板提供了方便进入室内的通道。尿液可调气体淋浴和不同气体四元数和大小的选项有利于广泛的溅射应用。总之，ULVAC MPS-8000是一种经济高效的溅射模型，具有高精度溅射过程的易于访问和自动控制的特点。内置的机械臂和可调节的气体淋浴方便大基板和各种形状和大小的溅射。MPS-8000具有可靠、坚固的组件和用户友好的界面,是需要高精度薄膜沉积的应用的理想选择。