二手 ULVAC SH 450 #9133526 待售

ULVAC SH 450是由日本沉积系统制造商ULVAC Technologies设计的精密溅射设备。SH 450能够提供一系列沉积大气，如超高真空（UHV）、高真空（HV）和低压（LP）环境。它为金属、电介质和有机质等多种材料提供了高效的沉积工艺。ULVAC SH 450是一种直流溅射沉积系统，利用阴极溅射在基板上逐步堆积材料层。简而言之，该单元使用阴极靶以离子轰击底物，激发靶材并使其汽化。离子化的汽化目标粒子然后凝结在基板表面上，形成一层薄而均匀的层。SH 450配备了两个源，每个源都能溅射高达3.6 kW的功率。此外，它能够进行多源操作，允许同时使用多达四个源进行溅射。再者，该机包括一个独立的气体注入工具，可以引入氧气、氮气或氙气等反应性气体来改善材料性能。该资产提供了一个灵活的基板加热平台，最高温度可达400°C。它还带有一个特别设计的安装模型,允许顺序、水平或垂直溅射。此外，ULVAC SH 450包括数据采集设备和用户友好的图形用户界面，允许自动化过程控制。除了上述功能外，SH 450还有几项集成的安全功能，确保安全可靠的运行。其中包括紧急停止功能、过压保护器和背面支撑系统。所有这些特性使该装置适合各种制造工艺，从小样品到大规模生产。综上所述，ULVAC SH 450是一种将高温沉积过程、柔性基板加热和可靠的安全功能结合在一起，完成沉积过程的溅射机。适用于多种材料和基材，非常适合小样品制作和大规模生产。