二手 ULVAC SMD-450 #9269728 待售

ULVAC SMD-450溅射设备是一种高精度溅射沉积系统，用于将薄膜沉积到样品上，用于各种应用。该单元由多室机器组成，提供多种溅射选项，包括磁控管溅射工具、电子束蒸发和无快门溅射沉积资产。SMD-450 Sputtering Model的每个组件腔室都独立运行,并利用自己的过程控制器,工作压力高达1.0 mTorr。该锁载室用于将样品引入设备，并在需要时进行脱气和样品制备离心机操作。该系统还可用于加工各种基材，如玻璃、石英和陶瓷，以及结晶材料，如Si、SiGe、Ge。该设备的样本量范围为5mm x 5mm至200 mm x 200 mm。ULVAC SMD-450的磁控管溅射机可用于沉积Al、Cu、Au、Ta、Ag、Ni等金属薄膜。利用最新技术，该工具能够生产出残余应力低、附着力好的优质薄膜。此外，SMD-450还配备了原位等离子体监测资产，能够对沉积膜的性能进行精确的过程控制和测量。ULVAC SMD-450的电子束蒸发成分利用安装在溅射室侧面的电子束枪。该组分非常适合用于蒸发应用，如特种金属沉积、合金沉积和硅化物形成。无壳溅射沉积模型由于能够连续沉积几层材料而不需要加工室的机械快门，因此集成到SMD-450的快速可靠的处理时间中。最后,ULVAC SMD-450为用户提供了广泛的过程控制选项,包括自动温度控制设备和样品室实时监视器,可提供精确的溅射沉积时间、均匀性和均匀的表面覆盖。SMD-450是一个可靠和高精度的溅射系统，可以为广泛的应用提供准确和可重复的沉积结果。