二手 ULVAC SME-200LDM #9055124 待售

ULVAC SME-200LDM是为满足各种工业涂层需求而设计的最先进的溅射设备。它提供了出色的层状沉积均匀性，以及对工艺参数的控制，同时具有较高的沉积速率能力。该系统配备了先进的多口袋溅射目标组件，具有高达十二个直径80毫米的圆形目标，能够提供均匀精确的薄膜沉积。多口袋布置允许操作员利用不同的溅射目标或将目标移动到沉积过程中的不同位置。SME-200LDM有一个真空室，基板和目标之间有150毫米的间隙。这使得大的溅射区域和高沉积速率，与覆盖基板的能力，高达330毫米直径。配备高效无油涡旋式直驱机械泵，提供快速疏散，最大限度减少停机时间。此外，该机组还与外部真空泵兼容，进一步提高性能。为了保证最高水平的均匀性，ULVAC SME-200LDM配备了动态聚酯薄膜扫描仪，补偿基板曲率和基板与目标之间的波动间隙。该机还具有动态快门组件，以便快速实现高质量的涂层。快门组件可以移动,以保持均匀的沉积速率,而不考虑基板形状或几何形状的变化。SME-200LDM还配备了独特的进程窗口控制器（PWC）。PWC是一个软件包，利用沉积速率、薄膜厚度和表面拓扑的实时分析，以优化整个溅射过程，提高吞吐量和质量。最后,该工具配置了一个控制器面板,允许对整个过程进行控制和监控。所有资产参数都可以根据用户需要轻松设置、监控和调整。这使得溅射模型极具弹性，并使使用者能快速作出调整，以达到他们所期望的沉积轮廓。总体而言，ULVAC SME-200LDM是一种先进的溅射设备，能够提供出色、均匀和受控的区域覆盖，以及高沉积率。它的多功能性和广泛的特点使它成为一个理想的选择，以满足各种涂层的需求。