二手 VARIAN 3120 #9258459 待售

VARIAN 3120是一种直流磁控管溅射设备，设计用于沉积金属、电介质和半导体材料层。溅射系统包括真空室、端霍尔磁控管源、两个洪水枪源、三个气体溷合器和一个用于控制基板温度的目标充气器。真空室采用不锈钢制成，直径600mm，高800mm。它有一个闸阀组件，包括一个用于观察基板的窗口。它有两个泵，一个涡轮分子泵和一个机械泵，用于营造高真空气氛。涡轮分子泵提供2x10^-5 Pa的持续压力，而机械泵提供3 x 10^-7 Pa的基本压力，目标充气器用于调节基板温度，允许使用者设定0至200 °C的基板温度。它使用精密加热器、嵌入式温度传感器和温度控制单元。端霍尔磁控管源用于将膜材料溅射到基板上。它具有逆变器耦合设计，允许优化电源，稳定溅射过程，分辨率最高。端部霍尔磁控管可实现高达2,500瓦的可变功率,并在2x10^-2 mbar的溅射压力下运行。为金属溅射和沉积提供了两门电子束防洪炮。它们采用电子控制，并使用钨丝作为原料。灯丝可提供高达8000伏的功率，使厚厚的金属和介电材料层均匀沉积。机器所提供的三个气体溷合器能够为反应性溅射过程持续供应气体。这些气体溷合器能够向腔室供氧、氧和氮。这允许用户创建各种不同的反应性溅射环境。3120溅射工具为用户提供了一个可靠和精确的金属和介电沉积过程工具。它易于操作,允许用户快速设置和调整流程。资产采用先进技术，以清洁室一级的质量提供一致、高性能的沉积。