二手 VARIAN 3140 #9113802 待售
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已售出
ID: 9113802
E-Beam evaporator
Process: Used for dielectrics (Silica and transition Metal Oxides)
4-Pocket with thermal source
O2 Tank with leak valve
Bell jar chamber: Outer diameter, 20”
Diffusion and mechanical pumps included
Chiller not included
Currently in storage.
VARIAN 3140是为各种薄膜沉积和制造工艺而设计的溅射设备。专为加工复杂、高精度零件而制作。溅射系统具有平面磁控管源和旋转磁控管源以实现高效沉积，提供多种工艺能力。该装置具有许多特点，包括用于脉冲直流溅射的遥控室、用于反应性沉积的热等离子体发生器、用于有效膜厚度均匀性的独立离子控制以及用于温度敏感沉积的温度控制基板卡盘。3140还配备了集成、用户友好的软件包,可帮助操作员轻松监控、控制和优化流程参数。用户可以从控制界面实时获取真空压力、目标功率、过程监控数据，还可以调整溅射率、离子浓度、反应堆温度等各种参数。该机器还具有手动和自动化功能,可用于流程优化。通过自动化功能,用户可以优化薄膜厚度均匀性、可重复性和沉积率,从而实现高质量零件的经济高效生产。除了高级软件外,该工具还提供一系列安全功能,以确保操作安全。它的多个故障保险箱,包括电源和运动监视器、腔室超压保护以及加热器电缆和断开连接,确保始终保持安全运行状态。为了确保一致和可重复的结果，VARIAN 3140还配备了高精度的模具和真空室。它的模具设计能够准确定位基板，确保最佳沉积工艺。综上所述，3140是专门为高精度零件处理而设计的先进溅射资产。它配备了一系列先进的功能，允许对高质量零件进行控制优化和经济高效的生产。它的安全特性和精密的模具保证了可靠的操作和可重复的结果.
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