二手 VARIAN 3180 #143941 待售

VARIAN 3180是一种溅射设备，设计用于将薄膜层沉积到具有最高可达到的纯度和均匀性的基板上，以高沉积速率。它提供了一系列全面的功能,包括直流和射频电源配置、数字厚度控制以及有源或无源基板冷却。它具有多种工艺气体和几种内部气体输送系统，在温度控制的外壳中，能够在Planar Magnetron和Triode配置中运行。3180还具有几个独特的功能，包括远程监控和诊断功能、同时沉积的双源以及基于Web的自动数据存储。这个溅射系统还能够利用各种各样的电源和工艺气体，包括一个强大的150 kW直流电源和一个260 kW射频电源。除了先进的电源系统外，VARIAN 3180还采用了先进的控制软件程序，能够精确控制沉积过程。该机组有十个工艺气体输入点，每种气体都内置独立控制器。这使得工艺参数的精确控制和利用多种气体类型，机器可以很容易地一次沉积多层。该软件还实时捕获和监视重要数据,从而便于数据趋势和分析。该工具还包括一系列样品加载系统，包括集成的线性输送机、穿梭装载机、高密度样品存储资产和独特的样品布线模型。它还提供精确的温度控制，温度能够在10微米内调整到精确的精度。3180溅射设备为薄膜沉积需求提供了通用、高效、高通量的解决方桉。通过提供电源的选择，并通过提供几个内侧沉积源，准确的过程控制和精确的底物温度管理，该系统确保了最高质量的沉积结果。此外,高级诊断和远程监视功能允许从任何位置轻松准确地进行流程分析。