二手 VARIAN 3180 #156923 待售

VARIAN 3180是为各种独特的材料处理和沉积应用而设计的溅射设备。该系统由一个电源、两个电源、两个处理室、两个旋转目标和各种可选组件组成。该源是一个电弧溅射离子源，能够沉积导电和非导电材料，包括那些高度敏感且需要偏置、不同压力范围和更大功率水平的材料。该单元还具有处理脉冲操作、直流或交流操作、脉冲和电阻基板偏置的能力。电源有常规和高压两种型号,可分别提供多达4 kV和25 mA的功率。这两个工艺室与源相连，每一个都有单独的气体管线进行压力控制，另外还有真空、安全和气体控制的独立工艺连接。它们允许处理和沉积铬、碳、钨等材料，以及具有层间系统、多层和几乎任何元素组合的其他材料。每个腔室都具有同时操作单个基板或多个基板的能力，可以在批量或串联模式下使用。目标安装在两个加工室的每一个中，并在各自的轴上旋转，以增加沉积材料的均匀性。本机具有极快的溅射速率，甚至可以沉积非常薄的材料层。3180 Tool还提供了多个附加选项,例如晶体监视器、多个样品支架以及一套与真空相关的测量和控制系统。资产的整体溅射率极多，各种材料的层层非常薄。整个模型也很容易使用，具有用户友好的界面和灵活的沉积过程之间的转换。总体而言，VARIAN 3180溅射设备为各种材料的沉积提供了坚固可靠的平台。多种多样的高级功能使其极其可靠,使系统能够用于各种关键任务应用程序。