二手 VARIAN 3180 #9019175 待售

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製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9019175
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3180是一款功能强大的溅射涂层设备,具有多种附加特性和功能。它是一种用途广泛的工具,可以用来沉积各种材料,在各种基板上制造薄膜。3180的设计目的是在溅射过程中提供最高水平的均匀性和可重复性。该系统配有电子束枪,有助于提高沉积速率,允许更快的处理时间。电子束枪还可以提高正在创建的层的均匀性。此外,该单元还具有适应性,可适应一系列工艺参数。这使用户能够针对更复杂的薄膜结构快速、轻松地更改参数。VARIAN 3180可用于同时溅射金属和氧化物,允许创建多层薄膜。该机可加工尺寸为4"-6"的晶片,可处理高达4"厚的溷合和增强玻璃基板。此外,该工具可达到高达0.15-0.25 µm/min的沉积速率。3180易于调节,允许用户修改溅射气体压力、温度、电流等参数。它还配备了多种工艺室,包括物理气相沉积、高处理压力、多目标、定向溅射。这些功能使资产能够根据各种薄膜要求进行定制。该模型还具有许多自动化功能,如自动端点检测和配方控制。这使用户能够快速、轻松地编程复杂的沉积过程。此外,设备还配备了现场清洁和其他诊断功能,有助于提高工艺质量,避免维修费用高昂的停机时间。总体而言,VARIAN 3180凭借其灵活性、速度和准确性,是溅射涂层应用的绝佳选择。它可用于各种过程,其自动化功能使用户能够快速轻松地生产高质量的薄膜。
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