二手 VARIAN 3180 #9036780 待售

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製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9036780
Sputtering system, 4".
VARIAN 3180溅射设备是用于物理气相沉积(PVD)工艺的先进设备。它是一个多阴极系统,可以在真空环境下在各种基板上产生非常薄的导电材料膜。该单元配备了一个超高真空压力(UHVP)室、一个线性驱动器和一个提供沉积参数精确控制的快门组件。3180提供交流和直流供电模式,允许在不同条件下高效沉积各种材料。该机配备了不同的电源,允许并联或顺序阴极的使用和层厚度的精确控制。子系统,包括沉积室,前面提到的快门,线性驱动器可以单独控制,让PVD过程根据特定需求量身定制。高性能压力控制器,从60到10-5 torr,允许高效和高度可控的薄膜沉积。大驱动器提供从25到500°C的精确线性温度控制,允许不同材料的高效生长。阴极可以编程循环,能够提供高沉积速率。VARIAN 3180具有坚固的机械设计,允许长期、可靠的操作。该工具具有诊断和测试资产以及自动测试管理器,可用于诊断指尖准确的模型组件。用户友好软件设计用于设置不同的操作和监控流程。3180是生产非常薄的导电材料的高效可靠的方法,精度和精确度都很高。它提供了一系列可针对各种应用程序定制的功能,包括UHVP压力控制、线性驱动器以及单独控制和监视子系统的能力。它是广泛行业中用于PVD工艺的理想设备。
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