二手 VARIAN 3180 #9106889 待售

VARIAN 3180是一种脉冲磁控管溅射涂层设备，能够用多种金属和其他材料涂覆多种基板。它使用连续直流或脉冲直流以极高的速率沉积层，在某些情况下高达10,000 nm/min。该系统采用模块化结构,可轻松集成到现有生产线和定制的设备配置中。该机装有三个标准溅射源（DC或脉冲），包括一个专为专用涂层而设计的蒸发室。它还有两个离子源，一个氙等离子体发生器，以及两个额外的源，用于定制沉积。此外，该工具具有独特的真空沉积和离子束溅射相结合的能力，可实现无与伦比的沉积特征精度和控制。通用3180能够在各种基板上沉积层，包括金属、玻璃、陶瓷、半导体和有机材料。对于寻求高性能溅射和涂层技术的组织来说,它是一种经济高效的资产。VARIAN 3180具有高吞吐量、薄膜质量和提高生产速度的能力,是工业应用的理想选择。该模型为溅射过程提供了多种先进的特性和复杂的控制算法，包括功率、脉冲速率、脉冲频率、脉冲形状、脉冲比、溅射持续时间、基板偏置和阴极电位。3180还配备了一个先进的监测设备，可持续监测进程，并允许快速核查和响应操作参数。此外,VARIAN 3180还配备了一个安全系统,其中包含一系列互锁功能,可保护流程和设备免受有害事件的影响。例如，当电源故障时，安全联锁立即关闭电源，关闭工艺气体供应，将压力室提升至大气压。这些特性保护操作员和机器的安全免受磁控管的随机操作。总体而言，3180由于兼具高吞吐量、可靠性能和性价比，是工业研究和试点生产线高端应用的理想工具。对于寻求资产以满足特定应用程序需求的组织来说,这是一个极好的选择。