二手 VARIAN 3190 #42672 待售

VARIAN 3190溅射设备是为研究和工业应用而设计的先进、高性能物理气相沉积（PVD）系统。最高工艺温度为1400 °C,工艺压力范围从10^-2到10^-7 Torr,这种高度通用且可靠的装置可以最佳地执行各种涂层工艺和薄膜沉积应用。机器由两个相互连接的腔室组成，顶部腔室装有溅射目标组件，下部真空腔装有基板。溅射目标组件最多可容纳三个由RF或DC溅射源配置的独立目标源。此外，目标可以定制为所需的涂层材料，允许金属、合金、氧化物和电介质的沉积。3190采用先进的基板偏置控制技术，能够精确控制基板电位和精确均匀性。该技术还使得各目标溅射沉积参数的独立控制成为可能，进一步提高了成品的均匀性。此外，该工具还包括一个先进的多区加热和冷却平台，可精确控制多达五个燃烧区的温度，确保沉积结果的优越质量和可重复性。当与基于VARIAN Web的Optima软件平台结合使用时,VARIAN 3190提供了对溅射沉积过程的完全控制,从而实现了最终结果的显着优化。这种直观的界面还允许对流程参数进行完整的监控,从而实现精确的流程诊断和故障排除。此外,该资产还具有高级流程诊断工具,可以轻松识别任何问题并实时采取纠正措施。简而言之,3190是一个强大而直观的PVD模型,具有最先进的功能,旨在优化薄膜沉积过程。该设备提供无与伦比的过程控制和精确的基板均匀性，使其成为广泛的工业和研究应用的理想平台。