二手 VARIAN 3190 #9097088 待售

VARIAN 3190是设计用于薄膜沉积的高性能、低成本溅射设备。该系统采用两种独立的溅射炮，与多种基材兼容。3190能够生产厚度范围为0.5 nm至8.0微米的薄膜，具有优异的薄膜均匀性和优异的可重复性。VARIAN 3190具有强大的机械设计和高级控制功能,可提供卓越的工艺性能。基板安装在旋转平台上，允许在基板表面均匀沉积。枪的电源是可调的，能够实现低入射能量密度和低任务周期。此外,3190还可以配备可选的离子源/等离子源,以提供所需的薄膜性能。该单元还提供一系列现场监测和诊断工具，如厚度测量和实时晶圆映射。VARIAN 3190是一款以过程为中心的机器，为用户提供灵活性和高精度。按人体工程学设计的界面简化并加速了工具的操作。资产也是高度可定制的，允许用户定义特定流程的标准操作程序。此外,所有参数都已存储,可以快速召回以备将来使用。总体而言，3190是在多种基板上沉积高精度薄膜的理想平台。该单位可靠性高、效率高、成本效益高。VARIAN 3190以其先进的设计和广泛的特点，是各种薄膜应用的绝佳选择。