二手 VARIAN 3190 #9112440 待售

VARIAN 3190是一款高性能溅射设备，设计用于以任何生产速率提供精确试验膜的超清洁、高效、高度可控的沉积。它利用三个来源的溅射材料的优越的底物覆盖率和高的沉积率。该系统围绕由三相电源驱动的低能快速脉冲放电设计。这种配置使得材料在基板表面的沉积极为均匀，溅射时间非常快，大大提高了沉积速率，同时产生了比替代系统预期的更清洁的表面。3190具有完全可配置的接口，允许精确控制蒸发率、薄膜厚度、温度、压力、脉冲频率等参数。其模块化结构设计便于单元集成和快速刀具转换。它还可以与现有的传统控制器设计集成。VARIAN 3190具有全过程自动化和热管理以及跨多个目标的均匀沉积功能。它还提供可选的溅射源以提供定制的膜组合，如导电层、半导电层和保护膜层。3190拥有包括磁碟、铜合金靶子、超细金属靶子在内的大型目标选择。因此,可以针对所需的材料组成和生产率对机器进行优化。其专有的电镀技术通过减少过度抽水造成的损失，提高了均匀性，降低了成本。该工具也非常适合生产介电和光学涂层，如金属氧化物和氮化物。VARIAN 3190适用于要求膜均匀性优越、沉积率高、纯度超高、表面质量优良的应用。它的多功能设计为满足任何生产要求提供了最大的成本节约和灵活性,其加工元件确保了一致的性能和可靠性。3190是从高精度研究项目到大规模商业运营等多种应用中广泛溅射需求的理想解决方桉。