二手 VARIAN 3190 #9184623 待售

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VARIAN 3190
已售出
製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 9184623
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5" Module: Metal Process: Metal deposition Front-metal (RF +Al +Al +Al).
VARIAN 3190溅射设备是一种高通量PVD系统,旨在生产质量和品位一致的表面涂层和薄膜。此单元非常适合任何需要精密表面处理的应用。3190使用双室双源真空机。工艺室通常保持在10-6 mbar的底压。工具的沉积侧由一个负载锁和溅射源腔组成,配有快门控制的电阻离子束源(RIB)。RIB包含一个脉冲直流磁控管溅射源,允许模块加载和卸载。此外,VARIAN 3190还配备了高频、低能离子源,用于沉积材料的反应性离子蚀刻(RIE)。3190中的基板温度可从室温调整至500 °C。它还具有真空控制的气体喷射资产,用于处理表面的气动蚀刻,进一步增强了模型的功能。不仅VARIAN 3190能够产生高度均匀的薄膜,而且它的模块化设计允许快速的材料转换。这样可以在很小的空间内实现精确的可重复性和优化的吞吐量。此外,3190还配备了现场质谱仪,用于端点探测,确保沉积层在溅射过程中始终保持高质量和一致。总之,VARIAN 3190是一种先进的PVD设备,能够生产超高质量的表面和微层材料。其气体注入系统、RIE源和原位端点检测都有助于提高工艺稳定性和重复性。
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