二手 VARIAN 3190 #9198796 待售

VARIAN 3190是一种最先进的超高真空（UHV）制备溅射设备，用于制造薄膜和/或目标，用于各种科研应用。这种高科技仪器专门设计用于将导电、保护性或绝缘薄膜或目标沉积到半导体、金属、绝缘或光学透明基板上。3190是一个先进的溅射系统，利用两个独立的柔性溅射源，最多四个真空采样阶段，以及一个全面的软件包，准确可靠地创建薄膜和/或目标。两个独立的溅射源允许对多个样品进行多次同步处理，便于大批量处理。四个多区真空采样级分别配备涡轮水泵、130升/秒涡轮分子泵、机械式前泵以及多个气源，用于腔室调理和过程控制。此外,VARIAN 3190还包括一整套软件选项,以实现精确的流程控制和数据收集。具有高度灵活的命令集，该单元的软件可以监控和调整蒸发温度、气压、溅射功率、溅射速率等多种奇特的过程参数。该软件还允许对溅射源进行精确的空间控制，以及使用交替溅射枪的过程，使得复杂的阴影和掺杂过程成为可能。此外，3190提供了包括互锁电路、报警器、压力温度传感器等多种安全措施，确保机器安全可靠运行。最后，高超高压环境保证了工艺的准确性，为薄膜或目标的沉积提供了最佳的设置。综上所述,VARIAN 3190是一种最先进的溅射工具,旨在高效可靠地沉积薄膜和/或目标。它的两个独立的溅射源、四个多区真空阶段和综合软件包使其成为研究应用的强大工具。此外，对溅射源的安全措施、高特高压环境以及精确的空间控制，使资产能够准确高效地执行复杂的溅射过程。