二手 VARIAN 3280 #148076 待售

VARIAN 3280是一种为高通量材料沉积和器件制造而设计的内容均匀溅射设备。它是一个单枪单元，只有一个溅射室，可以沉积均匀层的金属、介电和其他材料如氧化物、氮化物和类似金刚石的化合物。其最大溅射速率为180Å/分钟，能够产生比其他溅射系统高五倍的高沉积速率。3280配备高端Robostage倾转机械手，提供精确对准和一致的胶片均匀性。这个机器人阶段允许用户在大面积上获得统一的覆盖范围，同时确保阵列设备的均匀性。倾斜旋转系统可以提供最大角度范围，± 25°的俯仰，± 35°的侧倾，180°的偏航，允许沿Y轴高度动态，以有效的基板旋转。VARIAN 3280机组有高速动态真空泵，由N2净化机、涡轮泵和冷冻飞机冷却工具组成。这样可以实现较长的周期和快速的泵送,从而提供出色的吞吐量。此外,它还具有一个PLC资产,用于改进对腔室压力和气体流动的控制和准确性,以及一个PID反馈回路,用于温度均匀性设置的精确温度控制。该模型能够在10-1至10 mTorr范围内的工作压力下溅射，典型的溅射速率为15-20 Å/minute。3280提供了广泛的来源，可用于沉积材料层，包括标准的目标材料，如铝和钛，以及更特定于氮化物和氧化物的材料，如氮化钛和二氧化铝。这允许用户在整个基板上沉积成分、形态和厚度均匀的层,而无需多个掩模或阴影掩模。最后,VARIAN 3280的特点是升级了模块,提高了生产率,能够检测基板上溅射材料的水平和材料的数量,从而允许重复溅射。此外，该设备还具有基于软件的远程监控系统和先进的参数设置，可以优化沉积工艺，提高生产效率。