二手 VARIAN 3280 #9024315 待售

VARIAN 3280是一种高精度溅射设备，设计用于需要均匀薄膜的应用，如用于光刻和医学成像的电子器件涂层或涂层。该系统可以将金属薄膜、绝缘薄膜和半导体薄膜沉积在最大面积达304 x 304毫米的区域上。其均匀的溅射沉积过程能够提供一个在整个区域内极为光滑的表面，使得它特别适合于电气和光学特性取决于薄膜厚度的装置。3280采用高物理气相沉积压力沉积厚度和组成极为均匀的薄膜层。其机动定位阶段能够精确控制涂层位置，而闭环工艺监视器可确保可重复结果。该装置可用于超高真空（UHV）或高压溅射室配置。VARIAN 3280具有先进的用户界面,允许用户对其特定的溅射过程参数进行编程,并获得精确的厚度和均匀性控制读数。机器还包括一个无挡板的观察窗口，用于实时观察基板和溅射过程。其高性能的气体处理控制能够处理各种气体，并提供整个腔室的过程稳定性。此外，3280能够在很宽的温度范围内运行，使其适合需要退火一段时间的应用。这也允许改善粒子迁移率以获得均匀的薄膜特性。总体而言，VARIAN 3280是一种强大而可靠的溅射工具，为各种基材提供了出色的沉积均匀性、精度和可重复性。其广泛的特性使得它非常适合要求最高质量的薄膜和涂层的应用。