二手 VARIAN 3280 #9148915 待售

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VARIAN 3280
已售出
製造商
VARIAN
模型
3280
ID: 9148915
Sputtering systems.
VARIAN 3280是由生产级半导体加工设备制造商VARIAN Semiconductor Equipment制造的溅射设备。这种溅射系统适用于各种应用,适用于低音量和高音量的程序。3280是一种最大运行功率为3900瓦的大功率机组。它采用单端发电机,由主发电机电源供电,设置电源提供稳定的直流输出。这台机器提供了广泛的基材尺寸,也能够进行多层处理。该工具高度可靠,维护最少。VARIAN 3280中的溅射靶材通常是涂覆的ti钨或铵,可以通过直接附着的方法附着在基板上。保持高电流密度,用户可以根据需要增加或减少电流密度。基板安装资产由两个不锈钢级和一个带有安装支架的静电夹具组成,可根据特定应用需求轻松配置。整个单元被封闭在一个容量高达10-6 Torr的真空室内。该装置的温度保持在最低520°C,适用于可用于溅射的高反应性金属。整个单元易于操作,可编程各种设置,包括脉冲功率操作。用户界面交互性很强,允许用户轻松监控溅射过程的状态,并为可重复的结果设置参数。总体而言,3280是一种优质可靠的溅射模型,适合多种应用。它非常可靠且易于操作,提供最低限度的维护并确保一致的结果。该设备在一系列材料中提供了坚固而强大的溅射功能,可用于各种应用(如电镀、涂层和扩散等)的薄膜沉积。
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