二手 VARIAN 3290 STQ #9134776 待售

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製造商
VARIAN
模型
3290 STQ
ID: 9134776
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6" Entity target configuration: Process station #2:ALSICU Process station #3:ALSICU Process station #4:ALSICU Process station cathode configuration: Station #2:Quantum(Ratating magnet) Station #3:Quantum(Ratating magnet) Station #4:Quantum(Ratating magnet) Heater configuration: Heater type (All station): DC BIAS Heater controller(AII station): Eurotherm 808 x 3 Power supply configuration: Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW System vacuum configuration: Compressor: Model 8600 8R Cryo pump: Yes Water pump: No Software configuration: User's guide: ECS 3000 Version: 96.204.10U1 Floppy drive: 3.5" Double cassette loading.
VARIAN 3290 STQ溅射设备是一种精密沉积仪器,用于在基板上沉积和涂覆材料。它旨在提供高速率和低温溅射,使不同材料的层层结构在同一晶片上沉积。该系统通过对功率和压力参数的专利Versareg™控制,提供了极高的沉积精度和精确度。单元内部的不锈钢腔室设计用于容纳扁平样品支架上的多个基板。该室还配备了惰性回填气体选件,并配备了用于溅射的先进高功率13.56 MHz射频发电机。它还配备了组件,以实现快速的样品装卸。VARIAN 3290STQ还具有高速率和低温溅射能力。高速率溅射模式可以达到高达34 eV的动能,允许材料以高速率发生沉积。这也使具有不同特性的材料能够逐层沉积。低温溅射模式允许减少污染物的产生和低质量溅射。此模式允许通常与较高的性能速率关联的溅射参数,例如较高的目标角度和自溅射。3290 STQ溅射机采用先进的压力反馈和容器控制技术。该技术保证了溅射操作过程中的重复性和可靠的压力和真空控制。配备PFC的工具还允许用户利用可变压力操作的优势,并使用户通过脉冲操作和可变压力控制来最大化离子中性比。3290STQ还具有先进的过程监测和控制系统。这些系统允许用户通过其过程监控功能来协调和管理所有溅射操作。过程监控工具包括温度控制系统、电离植入检测器、数据记录和分析系统,以及其他允许用户监控沉积过程的控制资产工具。此外,通过其最新的先进模型软件,它能够达到黄金标准的精度。综上所述,VARIAN 3290 STQ溅射设备的性能保证了在装卸过程控制/监控操作中的最大精度和准确性。这使得VARIAN 3290STQ一个理想的系统,用于先进的溅射操作和材料的沉积和涂层的基板。
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