二手 VARIAN 3290 STQ #9154639 待售
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已售出
ID: 9154639
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #2: ALSICU
Process station #3: ALSICU
Process station #4: ALSICU
Process station cathode configuration:
Station #2:Quantum (Rotating magnet)
Station #3:Quantum (Rotating magnet)
Station #4:Quantum (Rotating magnet)
Heater configuration:
Heater type (All station): DC BIAS
Heater controller (AII station): Eurotherm 808 x 3
Power supply configuration:
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8600
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading.
VARIAN 3290 STQ溅射设备是由VARIAN开发的用于高质量薄膜沉积的三目标、两套同时反应和无反应磁控管溅射系统。它设计用于从高端科学研究到工业生产等多种应用，因其易用性和可靠性，是许多实验室的首选。VARIAN 3290STQ溅射装置装有可旋转、机电控制的炮塔溅射头，旨在提供对目标角度和基板加工距离的高度精确控制，以实现最佳的溅射沉积。它具有24目标，3位置炮塔溅射头与非磁性，钛基导电目标。由于电控转臂，目标和工件定位精确到0.1mm精度。此外，该机设计为对金属、半导体材料和合金进行反应性和非反应性溅射，以达到目标几何和物理性质。该工具配备了用于复合材料反应性溅射的专利双套件磁控管，为复合和合金靶标提供了无与伦比的精度和可重复性。3290 STQ溅射资产是为可靠高效的溅射涂层操作而设计的，能够同时处理多达10种基板，头痛最小。该模型采用多站设计，易于更换基板，同时保持安全可靠。它具有机动导轨、自动基板运输和运动监测设备，用于精确的模具位置控制和薄膜均匀性。该系统还配备了一个正在申请专利的试运行套件，这是一个闭环腔室压力反馈单元，确保以安全的方式优化工艺参数。3290STQ溅射机还具有直观的图形用户界面，便于设置、编程和监控操作。VARIAN 3290 STQ溅射工具旨在为高质量的薄膜沉积提供可靠高效的平台，是全球许多实验室的理想选择。凭借其先进的工程、精确的控制和直观的用户界面，它一定能提供出色的效果。
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