二手 VARIAN 3290 STQ #9180896 待售

VARIAN 3290 STQ是由VARIAN Inc生产的溅射设备。它是一种高性能的磁控管溅射沉积系统，能够为各种应用创建均匀的薄膜。VARIAN 3290STQ具有三个立方体形、高功率、磁控管源,它们在整个基板上提供严格控制的均匀性和功率,并且该单元最多可配备三个加工室或"模块",以处理各种同时处理任务。3290 STQ的模块化设计允许用户创建多种配置，以适应晶圆尺寸、基板厚度和目标材料的特殊要求。闭环过程控制在广泛的条件下提供精确的沉积水平、均匀性和可重复性。3290STQ有一个高分辨率的电容压力计压力控制机，每个模块都有独立的控制。它还配备了可编程控制器，允许用户创建和存储多达12种不同的溅射过程配方，从而实现快速、简单、可重复的过程。VARIAN 3290 STQ具有40至270毫米的快速操作高度，允许最大工艺负荷达60公斤。它是一个强大的工具，具有多种先进的安全功能，包括自动化的电弧管理资产、双联锁模型、独立的紧急关闭以及保护性的铝制屏蔽。它还具有触摸屏E-panel,可完全控制所有设备流程。VARIAN 3290STQ用途广泛，可用于多种工艺，如薄膜沉积、合金镀层、精密蚀刻、磁控管溅射和反应性离子蚀刻。适用于广泛的应用，包括光电、数据存储、微电子、储能。3290 STQ凭借其令人印象深刻的性能、出色的功能和人性化的操作，是高性能溅射系统的热门选择。