二手 VARIAN 3290 STQ #9255762 待售
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VARIAN 3290 STQ是一种先进的溅射设备,用于半导体行业的各种薄膜应用。它是一种高通量共溅射工具,能够以高速率沉积高质量、均匀的薄膜层。该系统允许多个目标配置与多个精确控制的溅射过程串联。多目标单元可确保薄膜厚度和均匀性在各种基板上一致。沉积膜的均匀性是通过控制各种沉积参数如工艺压力、沉积速率、目标偏差、源和基板温度、目标到基板距离等参数来实现的。VARIAN 3290STQ的优越性能得益于其高效的基板加热能力。这有助于在任何基板几何形状上实现膜厚度和组成的高度均匀性。健壮的机器还提供可调视线和目标到基板的距离,以及PVD、磁控管、电子束溅射等多种工艺模式。3290 STQ专为易于使用而设计,并带有直观的用户界面。设计功能包括自动压力和温度控制、实时配方编辑、多点源验证和实时压力读数。此外,该工具还包括一个自我诊断菜单,允许操作员轻松排除任何资产问题。3290STQ还包括一系列安全功能,以确保用户的安全。这些功能包括先进的安全通道、气体关闭阀、双止回阀和自动关门,此外,该型号还包括坚固的水设备,以确保防止过程污染。整体而言,VARIAN 3290 STQ是一种高性能溅射系统,能以高沉积速率沉积高质量、均匀的薄膜层。其精密控制的传感和安全基础设施使其适合广泛的薄膜应用。
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