二手 VARIAN 3290 STQ #9262677 待售

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製造商
VARIAN
模型
3290 STQ
ID: 9262677
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
Sputtering system, 6" Quantum target 2001 vintage.
VARIAN 3290 STQ是一种溅射沉积设备,能够在基板上涂覆多种材料。它能够生产广泛的薄膜类型,包括导体、电阻材料、绝缘体、电介质、氧化物、氮化物和合金。它提供了与特殊的溅射源(例如氙离子和脉冲直流喷枪)接口的能力,开启了磁控管溅射的可能性。VARIAN 3290STQ主要是一个溅射系统,它在单个平台中提供多种工艺技术。它提供了常规直流电溅射、固定和交替氧溷合中的反应性溅射、高达四源构型和可缓冲反应性溅射的能力。通过使用这些不同的技术,它可以在较低的温度和更好的均匀性下实现较高的沉积速率。此外,3290 STQ为定制材料沉积提供了灵活性,例如那些需要特定结晶结构的材料。该装置具有清洁度和低接触污染的特点,使沉积层具有更高的纯度,并产生更光滑、质量更高的光洁度。这可以通过它的自动负载锁300 mm和晶圆转移机制以及它的自动腔室清洗来实现,减少过程引起的污染。3290STQ机还提供了卓越的精度基板位置控制与制造商的专利面罩准直工具。这有助于在千分之一英寸内提供可重复的薄膜厚度和均匀性。该资产的光学器件具有清晰的干涉滤波器来隔离传输的波长,其设计有助于减少或消除缺陷。由于缺乏传统的元素交叉污染,它提供了更高的可靠性和可重复性。总之,VARIAN 3290 STQ是一种非常先进的溅射沉积模型,能够准确一致地将各种材料涂覆到基质上。它能够以无与伦比的精确度生产出种类繁多的薄膜类型,其先进的技术使它能够提供流畅的光洁度、出色的均匀性和精确度。通过利用其工艺控制能力,这种设备可以帮助提高生产率和降低成本。
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