二手 VARIAN 3290 #9094690 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.开发的一种紧凑、全自动的溅射设备，3290能够将材料种类繁多的基板溅射涂层，可用于沉积金属、氧化物、合金等化合物。该系统提供了可适应各种沉积性能要求的多功能溅射配置。VARIAN 3290是一个单室单元，具有集成的负载锁。该室的内部由不锈钢构成，可用于四个独立的溅射源。该室包括一个用于控制过程气体流动的电子匹配机。该工具还包括预溅射基板清洁器和机器人控制的旋转基板旋转木马等功能。3290配备了一系列先进的控制和监控功能。这些特性使用户可以轻松调整工艺参数，如压力、溅射压力、工艺时间、功率、电压、电流以及基板与溅射源之间的距离。此外,还可以使用VES2-compatible计算机界面远程控制资产。VARIAN 3290的监控功能可用于确保每个过程步骤的质量结果。该模型包括内置粒子计数器、线性可变差分变压器（LVDT）、石英晶体微天平（QCM）和光学监控端口。QCM尤其可用于测量吸附-解吸等温线和定量表面质量评价。3290提供了广泛的溅射应用。非常适合高通量溅射，如溅射涂层太阳能电池、HFET、FET、MEMS、纳米线、纳米颗粒、薄膜晶体管等。该设备还允许绝缘材料、导电材料和半导体材料的溅射沉积。VARIAN 3290是一种有效且用途广泛的溅射系统。它具有先进的控制和监控功能，是实现优质涂层效果的理想单元。用户是否需要沉积金属、氧化物、合金或其他化合物-3290提供了完美的溅射溶液。