二手 VARIAN 3290 #9121542 待售
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ID: 9121542
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6"
(TiW, AlCu, AlCu, hard etch), 150mm, p/n 983-4353, 480V, 22A, 3ph, 60Hz,
CTI-Cryogenics On-Board 8 cryopump
V200-A turbopump; V200 turbopump
(2ea) MKS 250B controller
Fluke 1722A instrument controller
Fluke 8840A multimeter
Wide range thin film monitor
SW Version 2.2
Sputtering power supply
Vacuum system controller
880RS vacuum ionization gauge
RF matching controller
Cassette motor control
Temp monitor
Dual CTI-Cryogenics On-Board controller
Pfeiffer DCU controller
MKS vacuum controller
Multi-range DC sputtering power supply
(2ea) interlock status display
(2ea) deposition source control
RFPP RF10S RF generator
(3ea) CPI CPW-12/480 power supply
Includes OneAC power transformer/conditioner.
VARIAN 3290溅射设备是一种灵活的角反应溅射工具,可为制造商和研究实验室提供精确、可靠性和成本节约。该系统能够溅射沉积在各种形状和尺寸的任何材料的基板上，如玻璃、陶瓷、塑料和金属。该设备提供可用于控制生产产量和质量保证的光学质量结果。3290具有完整的定制溅射板系列,包括圆形、扁平、圆锥形和多轴配置,以满足任何工艺要求。机器还包括专有的目标，像黄金，专门用于特定的基材。VARIAN 3290还提供了强大的过程控制。其定制的可编程控制器提供对溅射深度、层厚度和均匀性的精确控制。综合数据收集工具能够对过程进行监测，并能够详细报告结果。该资产设计具有先进的安全功能，包括安全互锁模型、电源关闭开关和紧急停止。这些功能可确保安全运行,并降低工作流程中发生危险的风险。该设备也方便用户，适合实验室和生产环境。用户友好的软件为复杂的溅射过程参数提供自定义配方，使操作员能够轻松设置和维护过程条件。该系统也是高度可定制的，可以升级以提供更广泛的覆盖范围、更高的功率密度，以及一些其他的改进以适应任何生产要求。它还与大多数最新的溅射技术兼容,例如我们专有的溅射控制单元,可实现精确的过程控制。3290是一款可靠、经济实惠的溅射机。它具有卓越的工艺自动化和先进的安全特性，适用于研究和生产应用。该工具具有广泛的可定制性和最先进的溅射技术，可精确控制各种溅射沉积参数。
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