二手 VARIAN 3290 #9125838 待售

VARIAN 3290溅射设备是由VARIAN, Inc.开发的高端物理气相沉积（PVD）技术产品。它旨在沉积一系列薄膜，从金属和半导体到氧化物、氮化物和聚合物。这种多功能溅射工具非常适合从薄膜增厚和光学涂层到微电子等多种应用。3290溅射系统提供了一个先进可靠的平台,可以满足广泛的要求。该单元配备了结合了高性能工艺室、炮塔配置和模块化负载锁的屏蔽设计。由于实验和过程可能需要不同的卡带方向、目标位置和几何形状来匹配每个应用程序的要求,因此这种独特的功能可以提供灵活性。该机还提供卓越的工艺控制，包括工艺气体的独立控制、功率、腔室压力、涡轮分子泵速度和真空排气。该工具具有广泛的功能,旨在处理不同的特殊应用程序。它具有多目标能力，能够同时溅射两种不同的材料。资产还可以高效运行具有不同几何形状如圆形、矩形、正方形和菱形的大型基板。这保证了材料沉积过程尽可能精确，最终结果一致且可重复。此外,VARIAN 3290溅射模型还可以使用先进的几何控制设备和由多种材料（包括纯金属、合金和陶瓷氧化物）制成的高质量阴极实现均匀沉积。此外，这种先进的溅射系统还为用户友好的单元操作、维护、诊断、编程和配方开发提供了全面的界面。这种优化的界面使机器直观，最终降低了用户的学习曲线。用户友好的功能从控制目标温度、氙气压力、成分设置到数据实时监控不等。所有这些创新功能使3290溅射工具成为从物理气相沉积过程中获得高质量、可靠结果的绝佳选择，它是任何实验室的宝贵资产。