二手 VARIAN 3290 #9148904 待售

VARIAN 3290溅射设备是用于磁光和透明导体等薄膜应用的最先进的沉积仪器。这种直流溅射工具主要用于金属氧化膜的沉积，但也可以沉积金属和其他材料。该系统由离子枪、基座和腔室组成。离子枪被用来製造一个等离子体场来激发来自目标材料的原子，然后将原子沉积在基板上。基座用于支撑加工室内的基材和目标材料。该腔室本身是用氙气密封加压的，以确保清洁安全的溅射环境。3290具有多种特性，使其成为薄膜溅射的理想单元，包括专利的有源目标冷却机。该工具可确保目标材料能够快速冷却,提供比标准目标冷却系统更有效的均匀沉积速率和冷却。此外,此资产能够在多种条件下运行。它可以在3 mTorr到5 millitor和0-50 Celsius的压力和温度范围内操作。这使得VARIAN 3290成为各种过程的理想模型，如反应性溅射、多层沉积和脉冲溅射。该设备还提供了一个强大的过程控制系统，能够生产高质量的薄膜具有广泛的成分。3290溅射装置还提供了广泛的安全特性。其中包括压力/真空阀、紧急停止按钮和射频关闭等安全系统。此外，密室设计有密封，防止任何有害污染物或颗粒进入沉积环境。这样可以确保溅射机在其预期参数内安全运行。总体而言,VARIAN 3290是一种可靠且可靠的溅射工具,具有多种功能和特点。这一资产在广泛的温度和压力范围内提供高质量的存款和均匀的薄膜。此外，该模型还设计并配备了安全功能，以确保其安全运行在预期参数范围内。因此，3290是各种薄膜应用的理想沉积仪器。