二手 VARIAN 3290 #9174285 待售

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VARIAN 3290
已售出
製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 9174285
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3290是一种设计用于半导体器件制造和薄膜加工的高性能溅射设备。3290采用热、反应性、离子辅助沉积等一系列标准溅射工艺,沉积包括铝、金、铬、钛、铜、W、Ta、Nb和镍铬合金在内的各种材料系统薄膜。该系统还能够使用金属、电介质和半导体薄膜。VARIAN 3290单元是生产先进薄膜架构的终极解决方桉。它专门设计用于从单个平台沉积薄膜,使客户能够实现高吞吐量并优化其设备设计的层性能。该机采用最新的压力和温度控制套件,确保精确的溅射环境,用于精确的厚度控制和结构定义。该工具能够改变溅射气体,以满足设计的具体需要和所沉积的材料。它还允许精确控制温度和压力,以匹配多层膜的沉积要求。3290资产是半导体应用的理想选择,因为它采用精密工艺控制(PPC)技术,能够轻松地在工艺设置之间切换,确保快速可靠的工艺,并能准确控制反应压力、温度和基础材料。此外,其专有的金刚石涂层真空室非常适合长期使用,并为防止反应污染提供了额外的保护。VARIAN 3290在其设计中还包含了广泛的自动化过程,包括样品管理、配方控制、晶圆处理和源使用。这些过程与可根据客户需求定制的高级过程模型相结合,为一流的薄膜层吞吐量和加速设备开发奠定了基础。总体而言,3290是一种功能强大、用途广泛的溅射模型,提供先进的insitu过程控制和扩展的过程能力。其强大的设计确保了可靠的设备和快速的加工时间,从而提高了产量。
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