二手 VARIAN 3290 #9212609 待售

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VARIAN 3290
已售出
製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 9212609
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6".
VARIAN 3290是专门为工业用途而设计的溅射设备。它能够将导电、金属和非导电材料的薄膜沉积到一系列表面上。溅射是从目标表面清除物质颗粒的过程,方法是用被称为溅射枪的主要来源的高能粒子轰击目标表面。颗粒最终沉降在被处理的表面上,形成一层薄膜。3290是为高速生产溅射应用而设计的单船、双船或多盘系统。这台机组配备了能够达到最大60kW功率的电源,允许广泛的材料可以快速循环时间溅射。它还使用自动过程控制机,在沉积过程中监视腔室和工艺参数,确保形成稳定的薄膜。该工具适用于大多数电阻和介电材料沉积应用,包括磁性数据存储介质、透明导体、光学涂层和绝缘层。VARIAN获得专利的自动自调整双向偏置资产允许独立控制最佳溅射参数,如压力和功率。这种特性允许更稳定和可重复的薄膜质量,以及更好的表面质量。VARIAN 3290是一款健壮的型号,具有一系列安全功能,可以保护操作员和设备。它的设计目的是利用内置的自动腔室清洁设备在最少的维护和停机时间内运行。该系统还具有良好的真空性能,允许在低至-80C的温度下沉积.总体而言,3290是一种先进的溅射装置,为工业级应用提供卓越的薄膜沉积质量和可重复性。它可靠、坚固、易于使用,对沉积参数和运行时间进行了良好的控制。它具有广泛的特点,是目前市场上存放工业产品所用的高质量、均匀薄膜的最佳解决方桉之一。
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