二手 VARIAN 3290 STQ #9257988 待售

VARIAN 3290 STQ是一种先进的溅射设备，用于将各种材料的薄膜沉积到各种各样的基板上。该系统采用直流电（DC）溅射工艺，对薄膜的沉积速率、厚度和组成提供精确控制。VARIAN 3290STQ内的溅射过程是在高频、低压气体引入腔室时开始的，通常使用专用的涡轮分子泵。接下来，对基板和溅射源施加直流电压，导致它们之间产生在气体中产生离子的电场。高能离子随后向溅射目标加速，导致物质从表面溅射出去。溅射的原子然后沉积在基板上，形成薄膜。3290 STQ提供对溅射过程的完全控制。设备的电压、功率和气流可以实时调节，以确保最佳沉积。例如，较高的电压往往会增加薄膜的沉积速率，而较低的电压则可以用来制造更均匀的薄膜。该机器还提供了同时和顺序存放多个目标的能力，以创建具有定制特性的复杂多层薄膜。3290STQ也被设计成完全自动化。其闭环控制系统，连同其伺服控制的磁体和源，有助于确保整个基板上均匀的膜沉积。此外,该工具的高级数据采集系统能够精确地表征薄膜沉积速率和组成,并可以存储数据以进行存档。总体而言,VARIAN 3290 STQ是一种可靠、经济高效的溅射资产,为薄膜的沉积提供了先进的可能性。其多用途的设计，自动化的过程控制和精确的监控，确保了一个高质量的，一致的膜沉积每次。