二手 VARIAN 3290 STQ #9134775 待售

VARIAN 3290 STQ是为薄膜沉积应用而设计的高性能溅射设备。该系统使用工艺组件进行磁力轰击，并将材料沉积到基板上，在整个基板上具有精确的层厚度和精确的均匀性。VARIAN 3290STQ单元包括多种组件，设计用于制造不同金属、电介质和其他材料的薄膜。3290 STQ包括一个椭圆形的真空室，旨在营造高质量的真空环境。该腔室由不锈钢制成，采用O形环密封，并配有多种视口和诊断。机器内部有两个高压不对称磁控管，用于将材料溅射到基板上。磁控管能够提供高溅射速率和最小侵蚀的底物。该工具还包括两个基板支架，可用于安全定位和定位，同时溅射到多个基板上。为精确控制薄膜厚度,3290STQ包括一个自动薄膜厚度控制器.该控制器用于监控和控制溅射沉积速率，确保整个基板的均匀性。该资产还包括一个计算机控制器，它允许用户对自己的沉积配方进行编程，并将其存储以备将来使用。该控制器还便于在薄膜沉积过程中监测和调整过程，以及维护沉积数据的详细日志。VARIAN 3290 STQ型号配备了多种安全特性，包括中断沉积监测和气体泄漏探测器。中断沉积控制器设计用于在薄膜沉积过程中断或中断时自动关闭设备,防止损坏系统和基板。气体泄漏检测器设计用于检测设备内组件的任何潜在泄漏，并向用户发出警报，确保真空室保持密封并无泄漏。VARIAN 3290STQ机是一种用途广泛且可靠的溅射工具，旨在将优质薄膜沉积到多种基板上。此资产非常适合众多应用,包括平板显示器、薄膜晶体管、光电器件和MEMS器件。3290 STQ具有先进的安全特性和精确的工艺控制,是研究人员和制造商希望创造高质量薄膜的理想工具。