二手 VARIAN 600 GLC #9253624 待售

VARIAN 600 GLC溅射设备是一种用于薄膜沉积系统的PVD沉积工具.它专为溅射、蒸发、化学气相沉积（CVD）、反应性离子蚀刻（RIE）等高速率、高质量沉积过程而设计。该系统利用硅片、石英板等多种基材进行溅射沉积。600 GLC是一种先进的溅射沉积工具，具有多种功能以增强其功能。它采用双室设计，带有装卸室，允许有效的基板转移，而不会使基板受到过度污染。腔室温度也是可调的，允许在沉积过程中进行广泛的温度控制。该单元还具有广泛的工艺参数，包括溅射速率、目标功率水平、射频频率和沉积速率。该机还包括一个大功率磁控管源，这是理想的金属和其他材料具有高导电性。磁控管源为溅射沉积提供了更高的功率密度，从而产生了更高的沉积速率和更大的沉积过程控制。该工具还具有气体注入选项，用于控制CVD工艺中使用的反应物浓度。VARIAN 600 GLC是一种极可靠的资产，具有高质量的设计，并已在业界证明自己是高质量、高速率沉积过程沉积的宝贵工具。它能够为工业和研究应用执行过程，并且经常在制造和研发实验室中发现。该模型在薄膜沉积中具有多功能性，可用于沉积各种材料，从金属到绝缘体。此外，600 GLC可用于多种实验过程，包括高温退火和快速热处理。该设备还在溅射等过程中提供了极好的精度和可重复性，从而能够精确控制薄膜。