二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9027015 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一种用于材料沉积和薄膜制造的溅射设备。该系统在设计时考虑了模块化,能够配置具有各种组件的溅射单元。VARIAN M2i包括两个主要组件：真空加工室和溅射阴极组件.VARIAN/NVELLUS NOVELLUS M2i真空加工室采用不锈钢制成，密封气密，确保在清洁、高真空环境下进行溅射。该腔室设有涡轮泵送功能、数字温度感测和测量机、惰性气体引入工具以及计算机控制的监控资产。M2i的溅射阴极组件负责放电高能粒子，以便将薄薄的材料层沉积到基板上。溅射阴极组件由阳极、crucible支架和用于控制和维护等离子体的模块组成。组件的控制和监控组件包括直流（DC）偏置和AutoEqualizer模块,可确保一致的沉积速率。VARIAN/NOVELLUS M2i还具有电子能量监控器（EEM）和沉积速率监控器（DRM）等附加应用。EEM在溅射过程中监视入射粒子的能量，而DRM监视沉积速率。这两项功能都为用户提供了一种明智和受控的方法来设置溅射过程并确保实现所需的结果。总体而言，VARIAN M2i是一种先进的用于材料沉积和薄膜制造的溅射模型。它是一个经济高效且可靠的解决方桉,为用户提供了一种易于配置且高效的方法来获得所需的溅射过程结果。设备由坚固的部件组成，具有强大的控制和监测选项，所有这些组件都在高真空环境中，以确保精确和优化的沉积速率。