二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9213819 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一种用于大气压力物理气相沉积（PVD）过程的溅射设备。它是一个用途广泛的紧凑系统，利用广泛的溅射靶和沉积源来生产薄膜在广泛的应用。设备的组件旨在最大程度地提高沉积吞吐量、产量和工艺一致性。它具有两个目标组和一个双磁控管溅射机，允许同时和顺序溅射沉积。该工具的设计具有材料沉积的灵活性，有各种各样的目标材料和溅射模式。资产的电源能够为溅射目标提供25+kW的功率，从而实现卓越的过程控制。集成控制器具有可调腔室压力，改善溅射沉积。获得专利的双磁控管溅射模型可以在离子辅助沉积（IAD）和多种阴极溅射模式下运行。该设备还具有自动薄膜控制和过程监控功能。这样可以确保针对最小缺陷和过程偏差优化流程。其中一个特点是涡轮泵和循环冷却剂系统防止污染的腔室。VARIAN M2i是高沉积率应用的理想解决方桉。过程可以快速、准确地实施，集成加热元件允许低温膜沉积。它是一个高端单元,提供最好的PVD技术解决方桉。