二手 VEECO / DEKTAK Spector #9160719 待售
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已售出
ID: 9160719
优质的: 2000
Dual ion beam sputtering system
Dual ion sources:
16 cm Ion source as the major sputtering source
12 cm Ion source as assisting source
Target:
(3) Round targets, 14" dia
Water cooled backing plate
Target materials: 1 Ta & 2 SiO2
Rotation:
High speed fixture
Internal control
Water cooling
Heater: Yes
Pumping system:
CTI CRY-400 On-board
CTI 9600 Compressor
Mechanical pump (US Motor model G78597)
RGA: No
OMS:
VEECO OMS system, excluding tunable laser source
VEECO OMS computer and OMS hardware setup excluding tunable laser
VEECO OMS software loaded with the OMS computer
Controllers Included:
RF-2001 Controller
DC Bias 2051
Neutralizer 2070
Software: Spector version 6.0
Applications:
DWDM Filters
Laser line filters
Packing density filters
Optical thin film for high-power laser applications
Currently installed
2000 vintage.
VEECO/DEKTAK Spector是为高精度表面剖面设计的溅射设备。它使用X射线表面反射仪（XSR）和光学干涉编码器（OIE）的组合来测量基板的表面特性。VEECO Spector系统利用阴极溅射沉积过程在样品上形成一层沉积物质。XSR技术可以精确确定曲面拓扑,而OIE可以测量曲面粗糙度。XSR技术涉及X射线辐射从X射线源投射到样品表面。然后用X射线探测器接收反射辐射并进行分析以确定样品的拓扑。OIE编码器的运作方式类似，但不限于X射线辐射，可以使用任何光源。世界动物卫生组织利用一种干涉技术，将光分成两束，从样品表面反射出来。反射光束的差异用于精确检测表面轮廓。DEKTAK Spector溅射装置包括远程真空机、压力监视器和控制刀具设置的计算机接口。远程真空资产负责维持腔室内的真空，可以编程达到从1.0 mbar到1e-8 mbar的设定点。压力监测仪测量室内的压力，并在压力达到设定极限时发出警报。计算机接口用于控制溅射源功率、沉积速率、基板旋转等参数。Spector sputter model used for a range of materials deposition, surface modification and analysis applications including metal depositions, oxides, thin milms, sputtered oxides, and nano structures.它广泛应用于内存和电子行业,可实现精确的层控制和均匀性。VEECO/DEKTAK Spector溅射设备也可用于监测原位增长率，以及分析沉积材料的结构特性。总之,VEECO Spector溅射系统是一种先进的表面剖面和材料沉积装置.它利用XSR技术进行表面拓扑确定，利用OIE进行表面粗糙度测量，并用于一系列材料沉积、表面修改和分析应用。该机广泛应用于内存和电子行业，实现了精确的层控制和均匀性。
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