二手 ASYST IsoPort #9390006 待售

ASYST IsoPort是一个机器人晶片处理程序，设计用于通过自动晶片处理设备传输晶片。该机器人晶片处理程序经过优化，可提供精确、可重复、可靠的加工晶片传输。它具有机械龙门系统和计算机控制的运动控制单元。龙门机由3个轴构成，提供机器人三个维度的精确运动。机器人运动由步进电机和伺服电机技术驱动，以确保一致的刀尖精度和可重复性。该工具利用视觉引导臂将晶片定位并放置在工具床上。视觉引导臂在操作前也会验证晶圆的形状和大小。计算机控制的运动控制器被编程为控制机器人的速度、加速度和减速等运动。这允许自动机为每个处理操作选择适当的速度和速度。也可以将其编程为根据可编程限制调整这些速度和速度。IsoPort设计用于各种晶圆大小和类型。它既可容纳圆形晶片也可容纳扁平晶片，可用于在刀床、清洁处理单元和单晶片传输系统之间传输。ASYST IsoPort设计用于高温环境中安全高效的晶圆处理。资产配备了一个安全臂，自动放置在每次处理操作的开始和结束。这将有助于通过防止事故来降低对机器人或晶片造成损害的风险。此外，该模型还配备了自动屏蔽设备，可立即关闭安全臂以保护机器人和晶圆，以防发生任何故障。IsoPort专为方便维护和维修而设计。系统配有诊断单元，可以检测操作人员并向其发出任何潜在问题的警报。机器还提供了如何对机器人进行维修和调整的详细说明。总体而言,ASYST IsoPort晶圆处理程序是一种高度先进的机器人工具,可提供精确、可重复和可靠的处理晶圆传输。它专为便于维护和维修而设计，能够安全高效地处理各种晶圆大小和类型。