二手 FANUC M-6iB 6S iC #9111929 待售

FANUC M-6iB 6S iC是一种工业机器人晶圆处理器，设计用于制造半导体材料和器件。它每批最多可容纳、运输和定位20个晶圆,而操作员的干预最少。该机器人具有先进的扭矩监测设备和微调运动控制，用于晶圆的精确放置和运输。它采用六轴铰接式臂和集成控制器,允许三维运动,具有一定范围的触角和可重复性,可精确处理晶圆。机器人有一个由六个关节组成的主要运动系统，使其能够在三维空间中紧凑高效地移动。这些接头配置为线性运动以获得最大的灵活性,并由一系列编码器和限位开关控制,以调节运动并跟踪其位置。该机器人载重量为650公斤，可达1800毫米，能够处理任何尺寸和形状的晶片，确保准确性和可重复性。六轴腕部可以手动或电子操作，以对操控过程进行精细控制。为确保职场安全，机器人配备了超载防护、碰撞检测单元、紧急停车功能等多项安全功能。它旨在与大多数现代晶圆制造系统兼容，允许无缝集成到现有工艺中。此外,它还具有各种通信接口,如RS-232、以太网和USB,以方便与不同系统的通信。该机器人专为高性能而设计，可以高达800mm/s的速度执行操作，可重复性±为0.01mm。它能够使用其多个轴、多个预设位置和可编程功能执行复杂的任务。此外，它还配备了一个可选的视觉导引机，其设计使机器人能够识别和响应其环境。机器人配置和使用简单明了，用户友好的软件使得使用PC或PLC控制机器人变得简单。M-6iB 6 S iC晶片处理器是一种先进的工业机器人，设计用于处理具有精确、可重复性和速度的半导体晶片。它是晶圆制造的高效、经济高效的解决方桉，可用于各种生产环境。它具有高性能的移动和安全特性，确保晶圆处理过程的准确性和可靠性。