二手 DISCO DCS 141 #9148247 待售

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ID: 9148247
Wafer cleaning system, 8" Applicable tape frame size: 2"-8" Table rotating speed: 0-3000 min-1 (RPM) Spinner discharge pressure: 2.0-12.0 (Mpa) Air: 0.5 Mpa 216 L/min N2: 0.5 Mpa 54 L/min Water: 0.1 Mpa 0.1 L/min Power: 100 V, Single phase, 1.5 KVa.
DISCO DCS 141是一款最先进的晶圆和掩模洗涤器,设计用于半导体工业中的湿洗涤工艺。利用其先进的RFID和用户ID验证设备,系统能够防止任何未经授权的访问或活动。它还可以记录和存储关键事件和操作员活动。DISCO DCS141配备了三速离心装置,用于快速精确的洗涤。其先进的洗涤技术保证了有机、非有机和抗静电等不同模式下优越的颗粒去除。它舒适的触摸屏界面允许在几分钟内轻松操作和更改操作。该机配备了多个LED照明系统,包括一个深紫色LED,据说在晶圆/面罩擦洗过程中有尽可能高的消毒效果。这有助于最小化污染的风险,而自旋干燥机迅速从晶圆壳中除去水分。经过优化的干燥还有助于最大限度地提高工艺吞吐量,具有较高的洗涤效率,最大限度地去除颗粒。它还可以确保高温均匀性,从而提高性能。此外,它具有低用水特性和高稳定运行的持续性能。DCS 141是为了安全而设计的。它有温度保护系统,一个水位探测器,多个传感器和一个运动控制工具,以实现最大安全,即使重晶圆。它还具有防止晶圆化学品非法排放的防回流资产。这种先进的晶片和掩模洗涤器还具有多种其他先进的功能,如无振动操作和PID控制模型,即使在高速操作下也是高效的。它还具有坚固耐用的不锈钢设计和密封良好的盖子,可消除污染风险。总体而言,DCS141是半导体行业湿洗工艺的可靠选择,提供卓越的性能和安全性。配备了多种先进的功能,这种晶圆和掩模洗涤器是高度可靠和高效操作的完美选择。
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