二手 CANON FPA 3000 EX3 #9092577 待售

CANON FPA 3000 EX3是一种先进的晶片步进器，设计用于先进的半导体微芯片制造工艺。专门设计用于高端半导体微芯片生产中的光刻应用。FPA 3000 EX3的最大分辨率为5nm,具有极高的精度,使其能够在芯片生产过程中达到尽可能高的精度和可重复性。它能够以极低的缺陷率以高达每分钟20个芯片的速度吞吐量。此外,CANON FPA 3000 EX3还采用了先进的图像校正设备,可将聚焦深度不正确性降低30%,并将成像精度提高一倍。FPA 3000 EX3包括各种其他功能,以最大限度地提高生产效率并最大限度地降低成本。其独特的自动调谐图（ATM）系统能够对光刻工艺参数进行即时优化,而其内置的自动缺陷检测（ADD）单元在成像过程开始前对图像进行自动实时检查。这提高了机器的整体精度和灵敏度，减少了手工修饰和编辑图像的需要。此外,CANON FPA 3000 EX3还配备了多种高性能组件,可实现最高性能和效率。它采用500万像素CCD相机、光学校正280mm F/2.8镜头和先进的5轴对准机来稳定操作和超精确对准。其高端电源和冷却系统确保了最佳的温度控制,其坚固的减振结构使其能够在任何类型的环境中运行。为了便于与其他计算机进行数据传输,FPA 3000 EX3还包括千兆位以太网LAN接口和可选的双冗余2.5Gb服务端口。除了增强的过程控制功能和对CANON专有E-DAQ软件的全面支持外,CANON FPA 3000 EX3还为光刻应用提供了全面的解决方桉。FPA 3000 EX3是一种高度先进的晶圆步进器,可提供无与伦比的精度、可重复性和工作效率。其尖端部件、先进的图像校正和自动缺陷检测系统使其成为高端半导体微芯片制造工艺的理想选择。