二手 CANON FPA 3000 EX4 #293586146 待售

CANON FPA 3000 EX4是为生产半导体芯片而设计的高精度晶圆步进器。它能够处理直径达300毫米的晶片，并配有八通道、两级光学设备，具有高精度和对准精度。此步进器还可以处理单个和多个曝光镜头,并能够自定义处理过的晶片的曝光参数。CANON FPA-3000EX4采用新开发的矢量控制镜头移位系统和精细成像镜头设计。这样可以确保在整个晶片上保持恒定的聚焦级别和一致的图像质量。其集成的隔振装置消除了暴露过程中的振动，最大限度地减少了由于热漂移引起的温度不稳定的阻尼时间。它还配备了高速I/O控制器，能够在曝光过程中快速处理大量数据。为提高成像能力,FPA-3000 EX4安装了新开发的EX4成像控制机.这提供了高度准确和可靠的图像显示,简化了整个自动对齐过程。它还配备了新设计的高精度自动对焦工具（HPAS）,该工具旨在在晶圆厚度发生变化时找到最佳聚焦级别。FPA-3000EX4为优化能源利用提供了高效照明资产。利用它的六激光反射器，这步进可以达到高达7000 mW㎡的能量强度的光刻过程。其内置的微剪刀倾斜（Micro Scissors Tilt，MST）补偿器通过快速准确地检测射门的倾斜来防止曝光过程中的交叉斜率误差。为了方便用户，FPA 3000 EX4配备了用户友好的显示器，允许操作员在控制曝光参数的同时查看晶圆对准。它还具有预览模式功能，允许用户查看曝光前的镜头，以检查处理过的晶片的对齐方式。这可以在制造过程中快速准确地定位曝光。为了提供稳定的晶片加工，佳能FPA-3000 EX4提供了一个空气清洁控制功能，减少颗粒物污染和优化其清洁环境，以保持一个干净的晶片表面。它也有一个氦气交换模型，可以减少来自晶圆的X射线伤害。CANON FPA 3000 EX4是精密晶圆步进器所需的理想选择,因为它具有可靠的性能、高速和精确的对齐方式。其综合特性使其成为生产半导体芯片的绝佳选择。