二手 HITACHI LD-5011iA #9130224 待售

HITACHI LD-5011iA是一种功能齐全的晶圆步进器,旨在提供高图像质量和高度的过程均匀性。LD-5011iA设计具有许多关键特征，旨在优化光刻工艺并产生一致的结果。HITACHI LD-5011iA配备了还原物镜（ROL），数值透镜光圈为1.2，提供了晶圆的放大和高度详细的图像。显微镜还具有独特的聚焦机制和低调的陷阱镜头平衡设置，以确保放大倍率不会在曝光过程中发生移位。晶圆步进器具有处理多种类型照明的能力，包括紫外线和可见波长，使其适合不同种类的光刻工艺。步进器还具有独特的双定向伺服快门机构，为光刻工艺的每个步骤提供稳定的曝光时间。晶圆步进器还设有高度精确的自动对焦设备，配备激光干涉仪，可容纳范围广泛的晶圆高度。LD-5011iA的最大分辨率为1.67 µm,可满足广泛的处理需求。该系统还提供了一个可选的软件选项,用于创建具有自动聚焦设置的自定义焦点测量单元,从而使用户能够在各种操作条件下精确调整焦点。机器软件还提供全面的功能控制功能，允许用户自定义流程。此外,HITACHI LD-5011iA设计为用户友好的步进器,它提供直观的对话驱动用户界面,使设置和操作更加轻松。晶片步进器还具有高度可靠的输送机制，具有快速的索引和安全的样品处理，从而提高生产产量。LD-5011iA是一种完全自动化和可靠的晶圆步进器，可用于各种光刻工艺。它提供了广泛的功能来优化平版印刷工艺并产生可靠、一致的结果。HITACHI LD-5011iA具有直观的用户界面和可靠的聚焦能力,非常适合大批量生产环境。