二手 ICOS T 102 #9154670 待售

ICOS T 102是来自ICOS视觉系统公司的晶圆步进器，专门为先进的半导体光刻应用而设计。它配备了多种特性，使其非常适合半导体生产。该机核心由高消光灯、优化透镜系统、高分辨率数字伺服电动机和一个设计为限制漂移和提高重复性的旋转级组成。机器还带有几个可选组件，如接口卡、软件和定位器，可以量身定制以适应不同的半导体过程。T 102具有双光束系统，有助于提高扫描和成像速度。这两个光束用于同时暴露晶片的不同区域，从而允许更大的吞吐量。该系统还能够提供整个视图领域的高质量。镜头的设计也允许高度的精确度和分辨率。ICOS T 102利用各种定位器确保晶圆精确放置在扫描字段内。定位器的主要部件是Leveler、Stage Rotator和Wafer Gradient Tracker。Leveler负责精度和可重复性,而Stage Rotator负责晶圆之间的快速切换。晶圆梯度跟踪器还用于验证晶圆在机器视场内的确切位置。T 102设计用于处理高分辨率成像文件夹,允许高级半导体工艺使用高分辨率成像。机器还配备了自动晶片加载机构，使其能够在扫描过程开始前快速准确地对准晶片。该机与多种晶片兼容，设计用于加工半导体生产中使用的多种材料。它还配备了许多安全功能，以确保可靠和安全的运行。ICOS T 102的设计提供了高性能和最小的停机时间，使其成为半导体光刻应用的理想选择。