二手 NIKON i7 #182534 待售

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NIKON i7
已售出
製造商
NIKON
模型
i7
ID: 182534
晶圆大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON i7是来自NIKON的顶级晶圆步进设备。NIKON I 7是一种多任务步进器,能够支持广泛的应用,从简单的光刻到生产高度复杂元件的极高精密光刻。I7是一个功能齐全的系统,包括高分辨率成像单元、高级模式识别和对齐功能,以及功能强大的自动化控制系统。I7采用晶片步进机构,由两个精确、高精度的扫描级组成。扫描级用来聚焦和驱动有图桉的掩模暴露在半导体晶片上。步进级提供精确的位置测量、精确的扫描速度和高频操作。晶圆使用精确聚焦光学器件曝光,分辨率低至0.50 μ m。NIKON i7在提供高分辨率成像的同时具有高达2700 cm2/hour的高吞吐量。其先进的模式识别技术使其能够精确检测晶圆上的小特征,即使分辨率为0.50 μ m。这样可以实现更好的成像精度,并减少过程中出现缺陷的可能性。NIKON I 7还有一台先进的对准机,能够检测到与亚像素精度的错位,从而改进定位和对准。I7是一种高度自动化的工具,利用过程控制软件来管理光刻过程。该软件能够控制和优化曝光参数,例如扫描速度和模式放置。I7还有一个自动聚焦方法,在曝光过程中调整焦点,以确保在任何时候最佳聚焦。NIKON i7是MEMS、显示器和传感器生产以及医疗设备制造等高科技应用的理想光刻解决方桉。它能够精确、精确地曝光0.50 μ米的图桉,是一种高效可靠的资产。NIKON I 7是高端光刻应用的完美选择。
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