二手 NIKON NSR 1505 G6E #9120694 待售

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NIKON NSR 1505 G6E
已售出
ID: 9120694
晶圆大小: 5"
Stepper, 5" Resolution: 0.65㎛ D.O.F: range ≥ 1.5 ㎛ Lens distortion: ≤±0.09 ㎛ Focus stability: ≤0.6 ㎛ Wafer flatness: ≤3 ㎛ Uniformity: ≤±2.0% Reticle rotation accuracy: ±0.02 ㎛ Overlay: |X| + 3σ ≤ 0.2㎛ EGA alignment accuracy: |X| + 3σ ≤ 0.14 ㎛ Stepping accuracy: 3σ ≤ 0.09 ㎛ Pre-alignment repeatability: 3σ ≤ 2 5㎛ Utilities: Electrical power: 200V±20 V, 3 Phase, 50 A, 50/60 Hz Air: ≥3 kg/cm2, 5 L/min, 1/4" Vacuum: ≤300 mmHg, 50 L/min, 1/4" PCW: 16°-32°C, ≥3 kg/c, 18 L/min, 1/2" Thermal exhaust: 1000L/min, 125mm Drain: 1".
NIKON NSR 1505 G6E是一种多场高端晶圆步进器,旨在方便先进的半导体电路制造。它具有高精度和可重复的精度,为各种设备类型提供了卓越的性能。NIKON NSR-1505G6E使用4 x和5 x扫描曝光模式使其适合任何设备或应用。可用的各种投影透镜-包括两个非球面透镜、一个远心透镜和一个超远心透镜-在广泛的焦距范围内提供极为精确的结果。该设备还具有镜头扫描模式,通过在一个步骤中进行多次曝光,提高了扫描曝光的效率。NSR 1505 G6E采用严格的真空控制,可在清洁环境中运行。控制设备包括一个超低颗粒传感单元,用于监测步进机中空气中的粒子浓度。这为确保稳定和清洁的操作环境提供了持续的控制。NSR-1505G6E具有多个用户可选功能,允许最终用户根据其特定要求自定义设备。其中一个选项是使用高分辨率渐变和优化功能组合的高效曝光策略。这有助于减少错位或像差造成的光学效应数量,提供高精度。NIKON NSR 1505 G6E可以接受各种半间距几何图桉,包括线距离和斜线,以支持一系列的应用。其他功能包括自动对齐和定心例程,以及提供快速测试以验证晶圆工艺结果的在线测试功能。NIKON NSR-1505G6E包括各种可选的自动化软件包,可提高系统的准确性和生产率。其中包括一个强大的多轨级,它允许步进器更快速和精确地移动,以及一个视觉对齐单元,用于测量和比较传入的晶片和存储的参考图像。步进器还可以与现有的生产设施集成,以简化工作流程、减少停机时间并优化操作效率。总体而言,NSR 1505 G6E是一个强大而精确的步进器,为晶圆处理提供了出色的效果。其多场光学和真空控制机使其成为高端晶圆制造的理想选择。各种自动化软件包和其他用户选项常常使其成为高级半导体生产的首选。
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